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科技成果转化

对外转化科技成果(七):大口径石英晶体生长产业化项目

来源:  发布时间:2024-04-16
       石英纳米线纳米线兼备健康的频段-温湿度固定量分析和光电技术开关元器件穿透率,使用于以SMD3225型、2520型侧重于流产品型号的晶振开关元器件,以其舒适光电技术开关元器件开关元器件,成批现货供应以晶振开关元器件研制开发侧重于的培训学校、院所和中小企业,每年生产的量5-8吨,占目前中国晶振股票市场1%作用比例。       国内的需适用新一批中型中频晶振开关元器件(2016型、1210型及以下的主要参数)、温补晶振、车规晶振等的高产品质量石英砂晶胞砂结晶并未水利工程化,已有适用热门晶振主要参数3225型的石英砂晶胞砂结晶也有着一小半从芬兰进口量,石英砂晶胞砂结晶贸易茶叶销售市场突破缺口相对较大,采用未来趋势很不错。技艺工作成果生成后来,预想生产量能达到到800吨,占中国贸易茶叶销售市场的30%,结晶生产量品薪资46亿,纯利润16亿,服务项目终端用户300亿晶振开关元器件贸易茶叶销售市场。       面对现今人为改造石英石砂氯化钠结结晶体石硫化锌无从符合上游行业对高好茶叶品质、高增强、高效率费原料的诉求问題,做出没事种大口径规格的水热法治社会备人为改造石英石砂氯化钠结结晶体石硫化锌水平面方式,还有低腐烛铁路桥强度籽晶制取、高含量石英石砂氯化钠结结晶体石硫化锌水仪控艺、熔岩微电网保溫部件等水平面方式,制取高好茶叶品质人为改造石英石砂氯化钠结结晶体石硫化锌,可符合不同规格的中小型、高頻、高精的晶振零件QMEMS生产系统研制。重点水平面已实如今的Ф250mm高压电釜上取得建筑工程验血证,水平面在目前中国优势、目前中国最先进水平面。

        (一)主要技术创新点

        1. 大规格髙压釜水高温艺。

        国内用于人造石英晶体生长的高压釜口径均在Ф380mm以内,单釜产量低、生产成本高,无法与占国内市场50%的俄产石英晶体形成竞争。由于釜体口径小,受电压、环境变化等因素的干扰影响大,不适合低腐蚀隧道密度、高Q值人造石英晶体的生长,无法满足ꦺ温补晶振、压控晶振以及小微型QMEMS工艺晶片需求,该类产品由日本垄断,造成国内石英晶体产业链的技术短板。

        大口径高压釜便于实现内部良好的对流环境和更加稳定的温场,抗外部环境🙈干扰能力大大加强,单位能耗更低,生产效率更高,批量一致性更🙈好,更有利于适用于QMEMS光刻工艺的大尺寸、低腐蚀隧道密度石英晶体产业化。

已申办创造使用创新高新产品申请1项,授权许可使用创新高新产品申请1项。

        2. 熔岩储能系统。

        稳定的温场和精准控温有利于高品质人造石英晶体的生长。目前石英晶体的温场主要由电阻直接加热控制,在较长的石英晶体生长周期内,电压变化、加热件的损坏直接造成温🧜度波动,影响晶体质量均匀性,导致下游元件制造调试成本高。元件企业更热衷直接采购日产石英晶片,限制了国内晶体企业的技术进步。

        熔岩储能装置替代电阻直接加热,可实现恒温控温精度高,温场更稳定;实现结构性节能,降低碳排放;降低用🧸电成本,增加物理空间可选择性;对电质量不敏感,有利于提高晶体品质。

       (二)技术优势

        技术成果转化后,单釜产能可提高10倍以上(与国内主流Ф300mm口径高压釜对比);单位成本降低24.02%;单🅘位能耗降低44.75%;谷电替代尖、峰电,实现结构性节能。

技术成果转化后,产品的一致性大幅提高,与俄产石英一致性持平;有利于低腐蚀隧道密度、高Q值石英晶体的生长,可接近或达到日产石英品质(日产石英腐蚀遂道密度在3条/cm2以内。



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