科技成果转化
对外转化科技成果(七):大口径石英晶体生长产业化项目
来源: 发布时间:2024-04-16(一)主要技术创新点
1. 大规格髙压釜水高温艺。国内用于人造石英晶体生长的高压釜口径均在Ф380mm以内,单釜产量低、生产成本高,无法与占国内市场50%的俄产石英晶体形成竞争。由于釜体口径小,受电压、环境变化等因素的干扰影响大,不适合低腐蚀隧道密度、高Q值人造石英晶体的生长,无法满足ꦺ温补晶振、压控晶振以及小微型QMEMS工艺晶片需求,该类产品由日本垄断,造成国内石英晶体产业链的技术短板。
大口径高压釜便于实现内部良好的对流环境和更加稳定的温场,抗外部环境🙈干扰能力大大加强,单位能耗更低,生产效率更高,批量一致性更🙈好,更有利于适用于QMEMS光刻工艺的大尺寸、低腐蚀隧道密度石英晶体产业化。
已申办创造使用创新高新产品申请1项,授权许可使用创新高新产品申请1项。2. 熔岩储能系统。
稳定的温场和精准控温有利于高品质人造石英晶体的生长。目前石英晶体的温场主要由电阻直接加热控制,在较长的石英晶体生长周期内,电压变化、加热件的损坏直接造成温🧜度波动,影响晶体质量均匀性,导致下游元件制造调试成本高。元件企业更热衷直接采购日产石英晶片,限制了国内晶体企业的技术进步。
熔岩储能装置替代电阻直接加热,可实现恒温控温精度高,温场更稳定;实现结构性节能,降低碳排放;降低用🧸电成本,增加物理空间可选择性;对电质量不敏感,有利于提高晶体品质。
(二)技术优势
技术成果转化后,单釜产能可提高10倍以上(与国内主流Ф300mm口径高压釜对比);单位成本降低24.02%;单🅘位能耗降低44.75%;谷电替代尖、峰电,实现结构性节能。
技术成果转化后,产品的一致性大幅提高,与俄产石英一致性持平;有利于低腐蚀隧道密度、高Q值石英晶体的生长,可接近或达到日产石英品质(日产石英腐蚀遂道密度在3条/cm2以内。